PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量。
?PLR3000高穩(wěn)頻精度光纖激光尺可根據(jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復雜場景應用。
PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源,激光通過保偏光纖引導,用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置,最大限度減小阿貝誤差??筛鶕?jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。
SJ6000國產高精度激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
SJ6000機床精度激光干涉校準儀可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
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