CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)的抗振設(shè)計(jì),在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
CEM3000系列納米材料觀測掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階高度測量儀器可精準(zhǔn)測量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學(xué)加工等領(lǐng)域。
VT6000高精度共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實(shí)現(xiàn)對(duì)納米至微米級(jí)表面形貌的高精度測量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域,助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。
CEM3000實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。臺(tái)式結(jié)構(gòu)節(jié)省空間,可置于桌面或狹小環(huán)境(如手套箱、車廂)。
NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對(duì)被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺(tái)階高度等。
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